江蘇半導(dǎo)體表面處理高溫?zé)Y(jié)爐真空燒結(jié)爐

主要技術(shù)指標(biāo)：

產(chǎn)品名稱：?jiǎn)喂芘P式真空燒結(jié)爐

規(guī)格：內(nèi)φ130㎜×1100mm

最高使用溫度：1200℃

工作溫度：1150℃

真空室等溫區(qū)長(zhǎng)度：≥400mm

等溫區(qū)溫度均勻度：（1150℃）±3℃

單點(diǎn)控制精度：±2℃/24小時(shí)

升溫功率：≤16KW

保溫功率：≤8KW

開機(jī)重復(fù)性：±3℃

冷態(tài)真空度：6.3×10-3Pa

爐體移動(dòng)速度：≥2米/分鐘

爐體定位精度：≤±2毫米

升溫時(shí)間：≤60min（加載后至恒溫時(shí)間）

降溫時(shí)間：≤60min（工件出爐溫度≤100℃）

充氣壓力：≤0.2Mpa

供電方式：三相五線 380V±10% 50Hz

單工作室有效負(fù)載重量：≥6kg（指工件及模具重量）高溫單道推板式燒結(jié)爐、全自動(dòng)推板燒結(jié)爐、全自動(dòng)雙推板式燒結(jié)爐、網(wǎng)帶式電阻燒結(jié)爐、氫氣氮?dú)馔瓢鍩Y(jié)爐、箱式氣氛保護(hù)爐、管式爐、真空碳管爐、真空鉬絲燒結(jié)爐、真空箱式電阻爐、真空熱壓爐、真空鎢絲燒結(jié)爐、真空干燥箱、高壓真空爐、高壓氣淬真空爐、真空加壓回火爐、高溫真空釬焊爐、真空退火爐、真空熱處理加工爐、高壓氣氛爐、單室臥式高壓高流率氣淬真空爐、單室立式高壓高流率氣淬真空爐、雙室臥式高壓高流率氣淬真空爐、雙室臥式油淬真空爐