硅晶片設(shè)備可以生產(chǎn)工藝上進(jìn)行追查,具有可以找出半導(dǎo)體裝備錯誤執(zhí)行分析的優(yōu)點。晶片刻印采用激光系統(tǒng)要根據(jù)嚴(yán)格的產(chǎn)品要求條件進(jìn)行制作。刻印不僅要能使機器能夠識別,而且還要小型化。刻印作業(yè)不能影響下一個生產(chǎn)階段。它是一個不容許有微小偏差的嚴(yán)格生產(chǎn)工序,要求一直到最后工序保持同一質(zhì)量。晶片激光刻印維持費用低、不合格率低、可最大限度在無菌狀態(tài)進(jìn)行工序。