1. 測(cè)量參數(shù)：Ra、Rz、Rq、Rt

2. 取樣長(zhǎng)度：0.25mm，0.8mm，2.5mm三擋可選

3. 評(píng)定長(zhǎng)度中含有5個(gè)取樣長(zhǎng)度(5L)

4. 測(cè)量范圍Ra：0.025-12.5(?m)

5. 量程范圍：160μm

6. 觸針角度：90°

7. 導(dǎo)頭縱向半徑：45mm

8. 針尖材料：金剛石

9. 針尖半徑：5μm±1μm

10. 觸針測(cè)力：4mN(0.4gf)

11. 最大驅(qū)動(dòng)行程：18mm/0.71inch

12. 驅(qū)動(dòng)速度：
         測(cè)量時(shí)： 當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 0.25mm　　Vt=0.135mm/s
　　　　           當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 0.8mm　　 Vt=0.5mm/s
　　　　           當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 2.5mm　　 Vt=1mm/s
         返回時(shí)： V=1mm/s

13.    示值誤差不大于±10%

14.    示值變動(dòng)性不大于6%