一、分類：
1、 分子泵具體可分為：
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。
2、渦輪分子泵： 利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器和高級電子器件制造等方面。
二、性能和特點
泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外，還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為108～109；對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。泵的極限壓力為10-9帕，工作壓力范圍為10-1～10-8帕，抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1升=10-3米3）。渦輪分子泵必須在分子流狀態（氣體分子的平均自由程遠大于導管截面最大尺寸的流態）下工作才能顯示出它的優越性,因此要求配有工作壓力為1～10-2帕的前級真空泵。分子泵本身由轉速為10000～60000轉/分的中頻電動機直聯驅動。
