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· 產(chǎn)品名稱： NB100A
羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。
特長
結(jié)凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn)
選用比標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)容量大一級的電機(jī)，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。
用途
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體
鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐
分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備銷售熱線：021-60441818 60441919 15365650833
機(jī) 型 |
NB100A |
NB300A |
NB600A |
NB1200A |
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項 目 |
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抽氣速率*3 m3/h（L/min） |
50Hz |
95(1580) |
280(4670) |
500(8330) |
1000(16667) |
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60Hz |
115(1920) |
330(5500) |
600(10000) |
1200(20000) |
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最大吸入壓力 Pa (連續(xù)運轉(zhuǎn)時) |
50Hz |
1.3×103 |
1.2×103 |
1.3×103 |
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60Hz |
1.3×103 |
9.3×102 |
1.1×103 |
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最大允許壓力差 Pa (排出壓力-吸入壓力) |
50Hz |
8.0×103 |
4.0×103 |
7.3×103 |
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60Hz |
6.7×103 |
3.3×103 |
6.0×103 |
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極限壓力 Pa*1 |
4.0×10‐1 |
6.7×10‐1 |
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標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵 |
GLD-N280 VDN301 |
VDN401 |
VSN1501 VSN2401 |
VSN1501 VSN2401 |
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電 機(jī) |
kW (極) *2 *4 |
0.4（2） |
0.75（2） |
2.2（2） |
3.7(2) |
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V-Hz |
380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz |
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使 用 油 |
ULVOIL® R-4 |
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所需油量 L |
0.35 |
0.70 |
1.50 |
1.90 |
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冷卻水量 L/min*6 |
空 冷 |
2 *5 |
2 |
3 |
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進(jìn)水壓力 MPa |
－ |
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0.3 |
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進(jìn)出水壓差 MPa |
－ |
0.05 |
0.1 |
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重 量 kg |
24 |
49 |
77.5 |
110 |
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吸氣口徑 (JIS B 2290) |
相當(dāng) VG50 |
相當(dāng) VG80 |
相當(dāng)VG80 |
相當(dāng)VG100 |
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排氣口徑 (JIS B 2290) |
相當(dāng)VF50 |
相當(dāng)VF80 |
相當(dāng)VF80 |
相當(dāng)VF80 |
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*1 用皮拉尼真空計測量的值，如用麥?zhǔn)险婵沼嫓y量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 電源為AC380V、50Hz、三相。
*3 隨粗抽泵的性能而變化，表中為標(biāo)準(zhǔn)泵的組合的數(shù)據(jù)。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機(jī)。
*5 對于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上進(jìn)行連續(xù)運轉(zhuǎn)必須用水冷。
*6 冷卻水溫為5～30℃。
