全自動硅片超聲波清洗機是由7個SUS304不銹鋼清洗槽，自動上下料裝置，龍門式機械手臂，超聲波清洗系統，超聲波純水漂洗系統，上下拋動系統，管路系統及PLC電氣控制系統，全封閉外飾板等組成。
主要用于清洗6″--8″硅片（切片后清洗）。
設備主要技術參數：
1、清洗料籃尺寸600*800mm（L*W）高度根據實際情況另定。
2、清洗料籃容量：每籃裝12只小料籃，每個小料籃裝25片。
3、生產節拍：3-10分鐘每籃，清洗節拍可調，
4、班產量：（按照8小時計）》=28800片。
清洗工藝：
1、自動進料→超聲堿液清洗（拋動）→超聲堿液清洗（拋動）→超聲堿液清洗（拋動）→超聲純水洗（拋動）→超聲純水漂洗（拋動）→超聲純水漂洗（拋動）→超聲純水漂洗（拋動）→自動出料
2、清洗劑：
參考使用的清洗劑為堿水，市水，純水。
