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*平面平晶是以光波干涉原理為基礎，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的平面度。 |
| 平面直徑d(mm) | 基本參數 | ||||
| 1級 | 2級 | ||||
| d范圍內 | 2/3d范圍內 | d范圍內 | 2/3d范圍內 | ||
| 30 45 60 |
0.03 | ---- | 0.1 | 0.05 | |
| 80 100 150 |
0.05 | 0.03 | |||
| 200 250 300 |
0.08 0.1 0.15 |
0.05 0.05 0.09 |
0.12 0.15 0.2 |
0.06 0.08 0.1 | |
