SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻機/激光修阻機/激光調阻機

激光調阻機的產品特點：

調阻精度高：先進的激光器提供了TEM00高光束質量和極細線寬的激光束；四線制高速測量系統，測量時間僅為25us；擁有軟件預調誤差補償功能；　

調阻速度快：先進的激光器擁有極高的重復頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度；德國進口掃描振鏡，掃描速度極快；高精度分步重復機構，空氣軸承，移動速度及加速度快；　

可靠性高：整機配置核心器件均采用原裝進口配置；采用花崗巖臺座，穩定可靠；　

功能強大：擁有溫度實時補償功能；同時具有激光劃片和打標功能；　

運行及維護成本低廉：采用半導體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長，性能穩定；電光轉換效率高，節約用電成本；采用風冷系統，無須外置冷卻設備；操作簡單，無須高額培訓成本；　

激光調阻機技術參數：　

激光器系統：　

激光類型：半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器　

激光波長：1064/532/355nm　

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)　

激光頻率：200Hz-50KHz　

典型光斑尺寸：30μm　

實際切口取決于材料、光學器件和波長；可根據需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達12μm　

泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時　

冷卻方式：風冷　

對焦方式：計算機程序控制　

激光束定位系統：　

激光束運動范圍：75mmX75mm（可選配其他規格）　

點到點運動時間：5ms（典型）　

最大速度：7000mm/s　

重復定位精度：2.5μm　

激光束最小步進：0.76μm　

圖像監視系統：　

監視方式：激光同軸監視　

最大放大倍數：>100倍　

圖像監視顯示屏：19寸液晶　

測量系統：　

激勵方式：電流/電壓激勵　

恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇　

恒壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓范圍）　

電阻測量方式：四線制加電流測電壓　

直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）　

調節對象發熱控制：程序可設定　

電阻測量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）     　

中阻：<0.05%　

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）　

電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ　

電阻測量速度：25μs　

直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）　

探針板：44針11組四線制（可選其它規格）　

探針板運動：計算機程序控制　

計算機及軟件系統：　

工業控制計算機（雙核），17寸液晶　

操作系統：Windows XP　

VB平臺開發的可視化應用軟件，界面友好，功能強大　

分步重復運動系統：　

運動XY范圍：290x260mm　

運動分辨率：1μm　

定位精度：小于6μm（帶誤差補償）　

重復定位精度：小于3μm   　

最大運動速度：900mm/s　

具有溫度補償等功能　

非接觸溫度測量：　

溫度測量精度：0.2℃　

調阻溫度修正：計算機程序控制　

其它技術指標：　

供電電壓：220V AC　

整機功耗：小于1000W　

激光調阻機應用和市場：主要應用于厚膜、薄膜電路的精密調節。廣泛應用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、軍工科研、片式電阻等行業。

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