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適用多氣體/多量程
· 高精度：保證±1.0% S.P.(設置點)
· 高速響應：滿量程1秒以內(T98) 搭載有可變 PID
· 適用于微小流量到大流量(200SLM ： SEC-Z540系列)
· 小型尺寸：適于面間距離 106mm、1.125inch(英寸)氣體面板、到50SLM同一面間距離的106mm
· 超清潔類型：接氣部采用全不銹鋼構造，其內面進行研磨標準處理
· 和模擬MFC之間的完全互換：與數字/模擬通信相對應(SEC-Z512MG/Z522MG)
