MODEL U701 U702 U705 U706 U707 U708 U709 U801 U802 U803 U804

適用于CMP slurries、酸液、溶劑、以及其它的高純凈流體，完全符合UHP等級規范。

McMillan的產品QC 部門特別設置了專屬的Class100 等級的微粒分析無塵實驗室，McM 也是第一間采取這種措施的流量計制造商。
McMillan Model802

流量測量控制儀

?專利的Pelton Microturbine設計，搭配Cam-driven Diaphragm Valve，提供+/-1%的高精確度、高達+/-0.2%的覆現性、以及<=3秒的靈敏反應速度，并且沒有零點漂移的缺點。
?全機不含消耗性零組件。內部流道采一體成型設計，沒有fitting、seal等零組件，維護成本極為低廉。沒有流體沈積及阻塞問題，不需更換耗材、backflush，也不需PM。
?所有接液部位零件均采用PTFE、Kal-Rez、sapphire材質制成，具有極佳的化學耐受性。
?適用于CMP slurries、酸液、溶劑、以及其它的高純凈流體，完全符合UHP等級規范。
?具備15~10000mL/min的廣泛流量范圍、市面上唯一可耐受高達90℃的流體溫度、2~80psi的操作壓力范圍等特性，提供使用者廣泛的應用選擇。

McMillan Model 803

流量測量控制儀