T116N81K13系列壓電鏡架可進(jìn)行反射鏡片的二維θx、θy偏轉(zhuǎn)運(yùn)動調(diào)節(jié)
芯明天P35A系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡大角度偏轉(zhuǎn)達(dá)43mrad
芯明天XD011-B機(jī)構(gòu)放大促動器外形緊湊、行程達(dá)6.2μm
芯明天P91.X20K系列快速刀具定位臺為超精密車削設(shè)計(jì)的微進(jìn)給平臺
芯明天高壓壓電控制器E80.D4S輸出電壓0~800V驅(qū)動器驅(qū)動電源
XE-650系列壓電陶瓷控制器小體積、單通道驅(qū)動電源
XD502系列壓電偏擺臺閉環(huán)線性度透光孔55×55mm^2
XD605.X90壓電納米定位臺承載達(dá)5kg一維運(yùn)動
ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺三軸調(diào)平電動操作更靈活
芯明天E81.C6K-H壓電陶瓷控制器放大器驅(qū)動電源
芯明天壓電鏡架N71.T4K-B二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動型調(diào)節(jié)架調(diào)節(jié)角度可達(dá)±2°
XD106系列低溫真空無磁壓電掃描臺位移臺平移臺
S54.T0S\/K-B系列壓電偏擺臺二維偏擺運(yùn)動開閉環(huán)版本承載達(dá)0.1kg
E80.B1S-H系列壓電控制器單通道閉環(huán)版本-20V至150V
XD107系列壓電掃描臺三維運(yùn)動行程可達(dá)100μm位移臺
XD780系列壓電納米定位臺可實(shí)現(xiàn)一維X向運(yùn)動,有50μm、150μm和200μm可選
芯明天工業(yè)式壓電陶瓷控制器E53.B1S-K定制工業(yè)接口
電容式CAP測微儀非接觸式測量0~200μm范圍內(nèi)的微小位移
VS6系列低壓柱形壓電促動器快速響應(yīng)高精度高可靠性
VH13系列金屬密封壓電促動器一維Z向位移有42μm、46μm兩種行程