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| 產品參數 | |||
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| 規格 | 1550 | ||
| 型號 | OTFC-1550 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 電壓 | 220 | ||
| 水流量 | 180升 | ||
| 空氣壓力 | 0.5 | ||
| 達到壓力 | 7.0*10 | ||
| 真空室 | 1550*1800 | ||
| 工件架 | 1400 | ||
| 機械泵 | 2個 | ||
| 基板溫度 | 350 | ||
| 排氣時間 | 20分 | ||
| 重量 | 11000 | ||
| 外形尺寸 | 1600*7200*9300 | ||
| 品牌 | 光弛 | ||
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