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日本光弛otfc1800鍍膜機射頻離子蒸發電鍍機雙光電子束真空電鍍膜機

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產品價格: 2.57/人民幣 
最后更新: 2025-04-06 03:29:53
產品產地: 廣東東莞
發貨地: 廣東東莞 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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瀏覽次數: 10
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  • 公司基本資料信息
  •  
    產品詳細說明
    產品參數
    品牌光弛
    功能自動
    重量8500kg
    離子源23cmRF
    達到壓力7.0×10-5?Pa 以下
    排氣時間20分(大氣壓~1.3×10-3?Pa)
    基板溫度350℃
    水流量180升/分以上
    電源3相200V
    可售賣地全國
    材質不銹鋼
    型號otfc1800

      日本光弛otfc1800鍍膜機 射頻離子蒸發電鍍機 雙光電子束真空電鍍膜機

      機械特點:

      真空室尺寸:Φ600-1800mm

      60點/80點式光學膜厚監控

      使用均勻分布的高離子電流密度的離子源

      搭載雙電子槍,多點和環型坩堝可鍍100層以上

      利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程

      工件架可選擇鐘罩式或行星式

      排氣系統可選擇擴散泵 低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

      設備尺寸:

      設備型號 OTFC-1800CBI/DBI

      真空室SUS304, φ1800mm×1920mm (H)

      工件架φ1600mm

      工件架轉速10rpm to 30rpm(可變)

      光學膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀

      波長范圍:350nm to 1100nm

      反射式或透射式

      石英晶振膜厚計XTC/3 6點式石英晶體傳感器

      蒸發源電子槍2套

      離子源23cmRF離子源

      排氣系統機械泵 2個擴散泵 Polycold(或2個冷凝泵)

      機械性能:

      達到壓力7.0×10-5 Pa以下

      排氣時間20分(大氣壓~1.3×10-3 Pa)

      基板溫度:350℃

      設備尺寸約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)

      工作條件:

      電源3相, 200V, 50/60Hz,約150kVA

      水流量180升/分以上

      空氣壓力0.5MPa以上

      重量約11200kg


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