日本光弛otfc1800鍍膜機(jī)射頻離子蒸發(fā)電鍍機(jī)雙光電子束真空電鍍膜機(jī)

　　日本光弛otfc1800鍍膜機(jī) 射頻離子蒸發(fā)電鍍機(jī) 雙光電子束真空電鍍膜機(jī)

　　機(jī)械特點(diǎn)：

　　真空室尺寸：Φ600-1800mm

　　60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控

　　使用均勻分布的高離子電流密度的離子源

　　搭載雙電子槍，多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上

　　利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過(guò)程

　　工件架可選擇鐘罩式或行星式

　　排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵 低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

　　設(shè)備尺寸：

　　設(shè)備型號(hào) OTFC-1800CBI/DBI

　　真空室SUS304, φ1800mm×1920mm (H)

　　工件架φ1600mm

　　工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm(可變)

　　光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

　　波長(zhǎng)范圍：350nm to 1100nm

　　反射式或透射式

　　石英晶振膜厚計(jì)XTC/3 6點(diǎn)式石英晶體傳感器

　　蒸發(fā)源電子槍2套

　　離子源23cmRF離子源

　　排氣系統(tǒng)機(jī)械泵 2個(gè)擴(kuò)散泵 Polycold（或2個(gè)冷凝泵）

　　機(jī)械性能：

　　達(dá)到壓力7.0×10-5 Pa以下

　　排氣時(shí)間20分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)

　　基板溫度：350℃

　　設(shè)備尺寸約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)

　　工作條件：

　　電源3相, 200V, 50/60Hz,約150kVA

　　水流量180升/分以上

　　空氣壓力0.5MPa以上

　　重量約11200kg