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日本光弛otfc1800鍍膜機(jī)射頻離子蒸發(fā)電鍍機(jī)雙光電子束真空電鍍膜機(jī)

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產(chǎn)品價(jià)格: 2.57/人民幣 
最后更新: 2025-04-06 03:29:53
產(chǎn)品產(chǎn)地: 廣東東莞
發(fā)貨地: 廣東東莞 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長(zhǎng)期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 9
詢價(jià)  試用會(huì)員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
  •  
    產(chǎn)品詳細(xì)說明
    產(chǎn)品參數(shù)
    品牌光弛
    功能自動(dòng)
    重量8500kg
    離子源23cmRF
    達(dá)到壓力7.0×10-5?Pa 以下
    排氣時(shí)間20分(大氣壓~1.3×10-3?Pa)
    基板溫度350℃
    水流量180升/分以上
    電源3相200V
    可售賣地全國(guó)
    材質(zhì)不銹鋼
    型號(hào)otfc1800

      日本光弛otfc1800鍍膜機(jī) 射頻離子蒸發(fā)電鍍機(jī) 雙光電子束真空電鍍膜機(jī)

      機(jī)械特點(diǎn):

      真空室尺寸:Φ600-1800mm

      60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控

      使用均勻分布的高離子電流密度的離子源

      搭載雙電子槍,多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上

      利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過程

      工件架可選擇鐘罩式或行星式

      排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵 低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

      設(shè)備尺寸:

      設(shè)備型號(hào) OTFC-1800CBI/DBI

      真空室SUS304, φ1800mm×1920mm (H)

      工件架φ1600mm

      工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm(可變)

      光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

      波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm

      反射式或透射式

      石英晶振膜厚計(jì)XTC/3 6點(diǎn)式石英晶體傳感器

      蒸發(fā)源電子槍2套

      離子源23cmRF離子源

      排氣系統(tǒng)機(jī)械泵 2個(gè)擴(kuò)散泵 Polycold(或2個(gè)冷凝泵)

      機(jī)械性能:

      達(dá)到壓力7.0×10-5 Pa以下

      排氣時(shí)間20分(大氣壓~1.3×10-3 Pa)

      基板溫度:350℃

      設(shè)備尺寸約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)

      工作條件:

      電源3相, 200V, 50/60Hz,約150kVA

      水流量180升/分以上

      空氣壓力0.5MPa以上

      重量約11200kg


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