Aerotech 納米級定位平臺-ANT系列
一、ANT95-L系列納米級精密定位平臺
優(yōu)點：
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動，無背隙與磁滯，大行程
1：高分辨率1nm
2：重復(fù)定位精度±25nm
3：定位精度 ±250nm
4：行程25-50mm
交叉滾柱軸承專利設(shè)計
可以提供X,XY,XYZ等多種組合。可以實現(xiàn)1nm的最小步進(jìn)。
二、ANT130-L系列納米級精密定位平臺
優(yōu)點：
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動，無背隙與磁滯，大行程35-160mm
1：高分辨率1nm
2：重復(fù)定位精度±25nm
3：定位精度 ±250nm
4：行程35-160mm
交叉滾柱軸承專利設(shè)計
可以提供X,XY,XYZ等多種組合。可以實現(xiàn)1nm的最小步進(jìn)。
三、Z軸運動平臺
ANT95-L-Z 與ANT130-L-Z系列納米級精密定位平臺
優(yōu)點：
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動，無背隙與磁滯，大行程25-60mm
1：高分辨率2nm
2：重復(fù)定位精度±75nm
3：定位精度 ±300nm
4：行程25-60mm
交叉滾柱軸承專利設(shè)計
可以實現(xiàn)2nm的最小步進(jìn)。
四、納米垂直升降臺
垂直升降，非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動，無背隙與磁滯，行程3-5mm
1：高分辨率1nm
2：重復(fù)定位精度±75nm
3：定位精度 ±200nm
4：行程3-5mm
交叉滾柱軸承專利設(shè)計
可以實現(xiàn)1nm的最小步進(jìn)。
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