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BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡TM3B

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產(chǎn)品價格: /人民幣 
最后更新: 2018-11-05 14:47:38
產(chǎn)品產(chǎn)地: 日本
發(fā)貨地: 深圳 (發(fā)貨期:當天內(nèi)發(fā)貨)
供應數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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    產(chǎn)品詳細說明

    產(chǎn)品應用

    微小領(lǐng)域(微米等級)、納米薄膜、Sic(單晶體、多晶體)、AIN等的測量。


    熱物性顯微鏡TM3B的優(yōu)勢:

    ? 熱物性顯微鏡是測量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備;

    ? 可以通過點、線、面測量樣品的熱物性;

    ? 可測量微米等級的熱物性值的分布;

    ? 全球首個非接觸方式且高分辨率的熱物性測量設(shè)備;

    ? 檢測光點徑3μm、高分辨率來測量微小領(lǐng)域的熱物性(點、線、面  測量);

    ? 可改變深度范圍進行測量,從薄膜、多層膜到散裝材料都可測量;

    ? 基板上的樣品也可測量;

    ? 激光非接觸式測量;

    ? 可檢測薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問題。

    主要規(guī)格


     名稱/商品名 

       熱物性顯微鏡/Thermal Microscope

     測量模式

       熱物理性分布測量 (1次元?2次元?1點)

     測量項目  

       熱滲透率、(熱擴散率)、(熱傳導率)

     檢測光點徑

       3μm

     1點測量標準時間

       10

     測量對象薄膜

       厚度 數(shù)百nm~數(shù)十μm

     重復精度

       耐熱玻璃、硅的熱滲透率±10%以內(nèi)

     樣品

       ?樣品支架 30mm×30mm,厚度5mm,樣品表面的鏡面需要研磨

       ?板狀樣品30mm×30mm以內(nèi),厚度3mm以內(nèi),樣品表面需Mo濺鍍 

     使用溫度范圍

       24℃±1℃(根據(jù)設(shè)備內(nèi)部溫度感應器)

     平臺移動距離

       ?X軸方向20mm  ?方向20mm   ?方向10mm

     加熱用激光

       半導體激光波長:808nm

     檢測用激光

       半導體激光波長658nm

     電源

       AC 100V~1.5kVA

     標準配件

       樣品支架、基準樣品

     *選項

       光學平臺、空調(diào)機、空調(diào)用booth、spatter裝置

     本體

       外形尺寸:730(W) x 620(D) x 560(H)mm  重量:80.0Kg

     電源箱

       外形尺寸:620(W) x 480(D) x 310(H)mm  重量:26.4Kg



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