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按質(zhì)量計(jì)算,在SnO2中加入3~5%的ThO2,5%的Sm2.在600℃的H2氣氛中燒結(jié),制成厚膜器件,工作溫度為400℃。則可作為CO檢測(cè)器件。上圖右圖是燒結(jié)溫度為600℃時(shí)氣敏器件的特性。可看出,工作溫度在170~200℃范圍內(nèi),對(duì)H2的靈敏度曲線呈拋物線,而對(duì)CO改變工作溫度則影響不大,因此,利用器件這一特性可以檢測(cè)H2。而燒結(jié)溫度為400℃制成的器件,工作溫度為200℃時(shí),對(duì)H2、CO的靈敏度曲線形狀都近似呈直線,但對(duì)CO的靈敏度要高得多,可以制成對(duì)CO敏感的氣體傳感器。
1、靈敏度 當(dāng)氫氣濃度較低時(shí),氫氣敏MOSFET靈敏度很高,1ppm氫氣濃度變,△UT的值可達(dá)到10mV,當(dāng)氫氣濃度較高時(shí),傳感器的靈敏度會(huì)降低。 2、對(duì)氣體選擇性 鈀原子間的“空隙”恰好能讓氫原子通過(guò),因此,鈀柵只允許氫氣通過(guò),有很好的選擇性。 3、響應(yīng)時(shí)間 這種器件的響應(yīng)時(shí)間受溫度、氫氣濃度的影響,一般溫度越高,氫氣濃度越高,響應(yīng)越快,常溫下的響應(yīng)時(shí)間為幾十秒。
根據(jù)單一的紅外吸收峰位置只能判定氣體分子中有什么基團(tuán),精確判定氣體種類需要看氣體在中紅外區(qū)所有的吸收峰位置即氣體的紅外吸收指紋。但在已知環(huán)境條件下,根據(jù)單一紅外吸收峰的位置可以大致判定氣體的種類。由于在零下273攝氏度即絕對(duì)零度以上的一切物質(zhì)都會(huì)產(chǎn)生紅外幅射,紅外幅射與溫度正相關(guān),因此,同催元件一樣,為消除環(huán)境溫度變引起的紅外幅射的變,紅外氣體傳感器中會(huì)由一對(duì)紅外構(gòu)成。 一個(gè)完整的紅外氣體傳感器由紅外光源、光學(xué)腔體、紅外和信號(hào)調(diào)理電路構(gòu)成。