PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍 ，鐵氟龍卡匣 ， 鐵氟龍晶舟盒 ，鐵氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進入化學酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。

特點

1.耐腐蝕：耐受強酸強堿

2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運輸

3.耐高低溫：-200~260℃

4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關；

5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；

6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染

7.化學性能穩定