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電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，它被稱為電子工業的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。
GB/T 21287-2007電子工業用氣體 三氟化氮技術指標
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項目 |
指標 |
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三氟化氮（NF3）,10-2?（體積分數）? |
≥ |
99.5 |
99.9 |
99.98 |
99.99 |
99.996 |
|
四氟化碳（CF4）,10-6?（體積分數） |
≤ |
1500 |
500 |
100 |
50 |
20 |
|
氮（N2），10-6?（體積分數） |
≤ |
700 |
50 |
10 |
10 |
5 |
|
氧+氬（O2+Ar），10-6（體積分數） |
≤ |
700 |
50 |
10 |
5 |
3 |
|
一氧化碳（CO），10-6 ?（體積分數） |
≤ |
50 |
10 |
10 |
5 |
1 |
|
二氧化碳（CO2），10-6（體積分數） |
≤ |
25 |
10 |
10 |
5 |
0.5 |
|
氧化亞氮（N2O），10-6?（體積分數） |
≤ |
50 |
10 |
10 |
5 |
1 |
|
六氟化硫（SF6），10-6?（體積分數） |
≤ |
50 |
50 |
10 |
5 |
2 |
|
可水解氟化物（以HF計）或總酸度，10-6?（體積分數） |
≤ |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
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水（H2O），10-6?（體積分數） |
≤ |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
