氬氣組分測(cè)試指標(biāo)

項(xiàng)目

指標(biāo)

純氬

高純氬

氬氣（Ar）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2

≥

99.99

99.999

氫（H₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6

≤

5

0.5

氧（O₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6

≤

10

1.5

氮（N₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6

≤

50

4

甲烷（CH₄）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6

≤

5

0.4

一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6

≤

5

0.3

二氧化碳（CO₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6

≤

10

0.3

水分（H₂O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6

≤

15

3

注：液態(tài)氬不檢測(cè)水分含量。