等級

每立方米中最多顆粒數(shù)

顆粒尺寸/μm

濃度/（mg/m3）

顆粒尺寸d/μm

≤0.10

?

0.10＜d≤0.5

0.5＜d≤1.0

1.0＜d≤5.0

0

由設(shè)備使用者或制造商制定的比等級1更高的嚴(yán)格要求

不適用

不適用

1

不規(guī)定

100

1

0

2

不規(guī)定

100 000

1?000

10

3

不規(guī)定

不規(guī)定

10 000

500

4

不規(guī)定

不規(guī)定

不規(guī)定

1000

5

不規(guī)定

不規(guī)定

不規(guī)定

20 000

6

不適用

≤5

≤5

7

不適用

≤40

≤10

注1：與固體顆粒等級有關(guān)的過濾系數(shù)（率）β是指過濾器前顆粒數(shù)與過濾器后顆粒數(shù)之比，它可以表示為β=1/P，其中P是穿透率，表示過濾后與過濾前顆粒濃度之比，顆粒尺寸等級作為下標(biāo)。如β10=75，表示顆粒尺寸在10μm以上的顆粒數(shù)在過濾前比過濾后高75倍。

注2：顆粒濃度是在溫度：20℃、壓力：0.1MPa絕對壓力、相對濕度：0的狀態(tài)下的值。