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我公司提供專業(yè)第三方氣體檢測報告，提供上門采樣服務(wù)，歡迎來電咨詢！
電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。
GB/T14601-2009氨氣電子級、光電子級產(chǎn)品技術(shù)指標
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項目 |
指標 |
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電子級 |
光電子級 |
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氨（NH3）純度（體積分數(shù)）/10-2 |
≥ |
99.9995 |
99.99994 |
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氧（O2）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
1 |
0.1 |
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氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
1 |
0.1 |
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一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
1 |
0.05 |
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二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
/ |
0.05 |
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烴（C1~C3）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
1 |
0.05 |
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水分（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6 |
＜ |
3 |
0.2 |
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總雜質(zhì)含量（體積分數(shù)）/10-6 |
≤ |
5 |
0.6 |
