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電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。
GB/T 14600-2009電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮技術(shù)指標(biāo)
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項(xiàng)目 |
指標(biāo) |
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氧化亞氮純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 |
≥ |
99.9994 |
99.997 |
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二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.5 |
2 |
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一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.1 |
1 |
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烴C1~C5（以甲烷計(jì)）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.1 |
1 |
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氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
3 |
10 |
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氧（O2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
0.5 |
2 |
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水（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
1.0 |
3 |
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氨（NH3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
供需雙方定 |
5 |
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一氧化氮（NO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
供需雙方定 |
1 |
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二氧化氮（NO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
＜ |
供需雙方定 |
1 |
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雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
5.5 |
26 |
