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氬氣
GB/T 4842-2017 氬氣技術指標
項目 |
指標 |
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純氬 |
高純氬 |
||
氬氣(Ar)純度(體積分數)/10-2 |
≥ |
99.99 |
99.999 |
氫(H2)含量(體積分數)/10-6 |
≤ |
5 |
0.5 |
氧(O2)含量(體積分數)/10-6 |
≤ |
10 |
1.5 |
氮(N2)含量(體積分數)/10-6 |
≤ |
50 |
4 |
甲烷(CH4)含量(體積分數)/10-6 |
≤ |
5 |
0.4 |
一氧化碳(CO)含量(體積分數)/10-6 |
≤ |
5 |
0.3 |
二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/10-6 |
≤ |
10 |
0.3 |
水分(H2O)含量(體積分數)/10-6 |
≤ |
15 |
3 |
注:液態氬不檢測水分含量。 |