電子工業(yè)用氧化亞氮專業(yè)檢測(cè)機(jī)構(gòu)

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氧化亞氮

自20世紀(jì)70年代開始，研究者研發(fā)了大量的可用于催化分解N2O的催化劑，較多研究已經(jīng)在實(shí)驗(yàn)室中取得了理想的效果，目前已研發(fā)的催化劑依據(jù)活性組分的不同可以分為金屬氧化物催化劑、負(fù)載型貴金屬催化劑和金屬離子交換的分子篩三大類。金屬氧化物催化劑的催化活性較高，主要有過渡金屬氧化物(Co3O4、CoO、NiO) 、堿土金屬氧化物 (CaO、MgO) 和稀土金屬氧化物及其復(fù)合金屬氧化物等。

負(fù)載型貴金屬催化劑是較早用于分解N2O研 究的催化劑，并借助載體的大比表面積和活性組分的高分散性，得以適用于實(shí)際的工業(yè)過程。此類催化劑的活性受到活性組分和載體種類的共同影響。 目前常用的載體有 Al2O3、MgO、SiO2、TiO2?和 ZrO2等，常用的金屬有 Rh、Ru、Pd、Pt、Au 和In等。 分子篩催化劑多是以過渡金屬( Fe、Co、Ni、Cu、 Ru、Rh、Pd 等) 離子交換 ZSM-5、ZSM-11 以及X型 等分子篩而得到。 其中混合金屬氧化物催化劑活性較高且有較好 的熱穩(wěn)定性，已經(jīng)在工業(yè)過程中獲得實(shí)際應(yīng)用。