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氦氣制備方法1.冷凝法:天然氣提氦在工業上采用冷凝法該法工藝包括天然氣的預處理凈化、粗氦制取及氦的精制等工序,制得99.99%的純氦氣。2.空分法:一般采用分凝法從空氣裝置中提取粗氦、氖混合氣,由粗氦、氖混合氣制純氦、氖混合氣經分離及純化,制得99.99%的純氦氣。3.氫液化法:工業上采用氫液化法從合成氨尾氣中提氦。該法工藝是低溫吸附清除氮、精餾得到粗氦加氧催化除氫及氦的純化,制得99.99%的純氦氣。4.高純氦法:將99.99%的純氦進一步用活性炭吸附純化制得99.9999%的高純氦氣。

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氦氣純度：工業氦???氦氣純度：≥99%??氖（氫）、氧（氬）、氮、甲烷總含量，%≤1???水分含量，露點，≤-43℃

純氦????優等品一等品合格品??氦氣純度，%≥99.99599.99399.99??氖含量，ppm≤152540

氫含量，ppm≤357???氧（氬）含量，ppm≤355???氮含量，ppm≤101725???一氧化碳，ppm≤111

二氧化碳，ppm≤111???甲烷量，ppm≤111???水分含量，ppm≤101520

高純氦氣???氦氣純度>99.999%，雜質含量（ppm）：O2≤0.5，N2≤1.0，CO≤0.5，CO2≤0.5，

CH4≤0.5，H2O≤0.5，Ne≤8.0；

超純氦氣???氦氣純度>99.9999%，雜質含量（ppm）：N2≤0.5，O2≤0.5，Ne≤0.5，CO≤0.1，

CO2≤0.1，THC≤0.1，H2O≤0.2；

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