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氦氣純度:工業氦???氦氣純度:≥99%??氖(氫)、氧(氬)、氮、甲烷總含量,%≤1???水分含量,露點,≤-43℃
純氦????優等品一等品合格品??氦氣純度,%≥99.99599.99399.99??氖含量,ppm≤152540
氫含量,ppm≤357???氧(氬)含量,ppm≤355???氮含量,ppm≤101725???一氧化碳,ppm≤111
二氧化碳,ppm≤111???甲烷量,ppm≤111???水分含量,ppm≤101520
高純氦氣???氦氣純度>99.999%,雜質含量(ppm):O2≤0.5,N2≤1.0,CO≤0.5,CO2≤0.5,
CH4≤0.5,H2O≤0.5,Ne≤8.0;
超純氦氣???氦氣純度>99.9999%,雜質含量(ppm):N2≤0.5,O2≤0.5,Ne≤0.5,CO≤0.1,
CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.2;