深圳志昇半導(dǎo)體真空無塵烤箱通過ISO Class 5級潔凈度認(rèn)證，采用多層不銹鋼腔體與磁流體密封技術(shù)實(shí)現(xiàn)≤0.1ppm氧含量控制，其快速升降溫系統(tǒng)可在15分鐘內(nèi)完成200℃至-50℃的工藝循環(huán)，配備32點(diǎn)溫度均勻性監(jiān)測模塊確保芯片受熱標(biāo)準(zhǔn)差＜±0.5℃。設(shè)計(jì)的晶圓承載架支持8/12英寸硅片全自動傳輸，真空泵組維持10^-3Pa極限真空度時(shí)能耗較傳統(tǒng)機(jī)型降低40%，集成式微粒監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)時(shí)檢測0.1μm以上顆粒物并觸發(fā)等離子清潔程序。特殊開發(fā)的防靜電涂層與RFID追溯系統(tǒng)構(gòu)成雙重防護(hù)體系，使該設(shè)備在BGA封裝、3D IC堆疊等先進(jìn)工藝中實(shí)現(xiàn)99.998%的良品率，其模塊化設(shè)計(jì)支持與SMEMA標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)線無縫對接，平均故障間隔時(shí)間達(dá)8000小時(shí)，成為華為海思、中芯國際等企業(yè)的工藝裝備。