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FDYM大小尺寸硅片拋光機,深圳硅片研磨機廠家

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產品價格: 0/人民幣 
最后更新: 2011-12-16 17:14:19
產品產地: 深圳
發貨地: 深圳 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 深圳市方達研磨技術有限公司
    • 胡先生先生 經理
    • 會員[試用會員產品]
    • 郵件szfd_2008@163.com
    • 手機18926019828
    • 電話
    • 傳真
    • 地址深圳市光明新區塘尾村寶塘工業區
    • 進入商鋪
     
    產品詳細說明

    硅片拋光機是高科技產品,能對超薄超大尺寸的硅片進行研磨拋光加工。平面度最高可達0.2u,光潔度最高可達0.2。高質量高效率一直是此款機器的最大賣點。售后服務完善,有專業的技術指導。試樣請咨詢:www.szfangda.cn

    工作原理:

        本系列硅片拋光機由四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉來達到拋光的目的。

    特點:

        1.本系列拋光機的吸附盤由四臺單獨的電機驅動、速度與壓力可調。

        2.控制系統中采用PLC彩色終端等先進技術,系統的響應速度更快、更精確,并具有遠程監控,遠程維護的功能;

        3.本系列拋光機運行平穩,拋光后的產品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內,粗糙度可達到0.0005mm

    設備規格:

    型號

    YM-18A 

     YM-24A

     YM-36A

    YM-48A 

    拋光盤規格

    φ460*φ140

    φ610*φ200

    φ910*φ300 

    φ1220*φ400 

    最大拋光尺寸

    φ150mm

    φ200mm

    φ300mm 

    φ450mm 

    拋光后平面度 

    ±0.5u以內

    ±0.7u以內

    ±1u以內 

    ±1u以內 

    工件平行度(25mm

    ±1u以內 

    ±1.5u以內

    ±2u以內 

    ±2u以內 

    工件粗糙度 

    0.4nm以內 

    0.4nm以內

    0.4nm以內 

    0.4nm以內 

    拋光盤電機功率 

    2.2kw 3380V

    3.7kw  3380V

    7.7kw  3380V 

    11kw  3380V 

    拋光盤轉速 

    0~120rpm 

    0~100rpm

    0~80rpm 

    0~60rpm 

    外形尺寸 

    700*1100*1100mm

    950*1200*2200mm

    1200*1400*2300mm

    1500*1700*2400mm

    重量 

    960kg 

    1800kg 

    2600kg 

    4500kg 



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