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氣相沉積爐 北京氣相沉積爐 氣相沉積爐廠家

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產(chǎn)品價格: 面議/人民幣 
最后更新: 2012-10-30 08:30:03
產(chǎn)品產(chǎn)地: 北京
發(fā)貨地: 北京 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 695
詢價  試用會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 西尼特(北京)電爐有限公司
    • 龐通先生 經(jīng)理
    • 會員[試用會員產(chǎn)品]
    • 郵件cntdl@sina.com
    • 手機18610138965
    • 電話
    • 傳真
    • 地址北京市朝陽區(qū)五里橋二街1號院
    • 進(jìn)入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細(xì)說明
    ※產(chǎn)品描述:
    CNT公司PECVD設(shè)備主要由全真空專用不銹鋼腔體,分子泵高真空系統(tǒng),電源,生長機體載體及溫控系統(tǒng),獨立排氣和生長壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng),冷卻循環(huán)水輔助設(shè)備等組成。整機結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設(shè)備控制系統(tǒng)采用邏輯按鈕手動控制與工控機自控控制可選。實現(xiàn)真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設(shè)備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導(dǎo)體及金屬膜等。
     
     
     
     
     
     
     
    ※技術(shù)指標(biāo):
     
     參 數(shù) 名 稱
    單   位
    配置
    沉積類型
     
    二氧化硅,氮化硅,類金剛石等
    電   源
     
    射頻電源,帶正向功率和反射功率計指示,帶匹配器
    加熱系統(tǒng)
     
    平板式雙反應(yīng)室系統(tǒng),帶加溫和勻氣系統(tǒng)
    工 作 溫 度
    100~600℃
    基片臺尺寸
    (φ×H)mm
    1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
    基片臺轉(zhuǎn)速
     
    轉(zhuǎn)速0-20RPM
    控 溫 精 度
    ±1
    極限真空
    pa
    8.0×10-5
    密封系統(tǒng)
     
    磁流體密封
    水冷、氣路系統(tǒng)
     
    冷卻水循環(huán)機、無噪聲氣泵
    報警及保護
     
    對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報警及相應(yīng)保護措施
    真空系統(tǒng) 
    (選 配)
    真空系列
    單級機械泵、擴散泵機組、分子泵
    工作腔體
    不銹鋼
    氣氛系統(tǒng)
    浮子流量計、進(jìn)口、國產(chǎn)質(zhì)量流量計
    記錄裝置
    進(jìn)口、國產(chǎn)無紙記錄儀
    備注:西尼特可根據(jù)閣下要求提供各種非標(biāo)產(chǎn)品的設(shè)計制造,歡迎來函、來電咨詢!   
          24小時熱線:400-668-6260   18610138965    Fax:010-51418223
      cntdl@sina.com                     http://www.cimitdl.com

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