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當前位置: 首頁 » 供應產品 » 鑄造設備/工業爐窯/熱處理設備 » 高頻/感應加熱設備 »CVD PECVD 氣相沉積爐-西尼特(北京)電爐有限公司

CVD PECVD 氣相沉積爐-西尼特(北京)電爐有限公司

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產品價格: 面議/人民幣 
最后更新: 2012-10-30 08:22:53
產品產地: 北京
發貨地: 北京 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數: 713
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  • 公司基本資料信息
  •  
    產品詳細說明
    ※產品描述:
    CNT公司PECVD設備主要由全真空專用不銹鋼腔體,分子泵高真空系統,電源,生長機體載體及溫控系統,獨立排氣和生長壓力調節系統,冷卻循環水輔助設備等組成。整機結構緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設備控制系統采用邏輯按鈕手動控制與工控機自控控制可選。實現真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導體及金屬膜等。
     
     
     
     
     
     
     
    ※技術指標:
     
     參 數 名 稱
    單   位
    配置
    沉積類型
     
    二氧化硅,氮化硅,類金剛石等
    電   源
     
    射頻電源,帶正向功率和反射功率計指示,帶匹配器
    加熱系統
     
    平板式雙反應室系統,帶加溫和勻氣系統
    工 作 溫 度
    100~600℃
    基片臺尺寸
    (φ×H)mm
    1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
    基片臺轉速
     
    轉速0-20RPM
    控 溫 精 度
    ±1
    極限真空
    pa
    8.0×10-5
    密封系統
     
    磁流體密封
    水冷、氣路系統
     
    冷卻水循環機、無噪聲氣泵
    報警及保護
     
    對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警及相應保護措施
    真空系統 
    (選 配)
    真空系列
    單級機械泵、擴散泵機組、分子泵
    工作腔體
    不銹鋼
    氣氛系統
    浮子流量計、進口、國產質量流量計
    記錄裝置
    進口、國產無紙記錄儀
    備注:西尼特可根據閣下要求提供各種非標產品的設計制造,歡迎來函、來電咨詢!   
          24小時熱線:400-668-6260   18610138965    Fax:010-51418223
      cntdl@sina.com                     http://www.cimitdl.com

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