CVD爐（SiC）氣相沉積爐-西尼特（北京）電爐有限公司

產(chǎn)品價(jià)格：	面議/人民幣
最后更新：	2012-10-30 08:22:36
產(chǎn)品產(chǎn)地：	北京
發(fā)貨地：	北京 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長(zhǎng)期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	1299

公司基本資料信息

西尼特（北京）電爐有限公司
龐通先生經(jīng)理
會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
郵件cntdl@sina.com
手機(jī)18610138965
電話
傳真
地址北京市朝陽(yáng)區(qū)五里橋二街1號(hào)院

產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

※產(chǎn)品描述：

CNT公司生產(chǎn)的CVD設(shè)備主要由全真空專用不銹鋼腔體，分子泵高真空系統(tǒng)，電源，生長(zhǎng)機(jī)體載體及溫控系統(tǒng)，獨(dú)立排氣和生長(zhǎng)壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，冷卻循環(huán)水輔助設(shè)備等組成。整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設(shè)備控制系統(tǒng)采用邏輯按鈕手動(dòng)控制與工控機(jī)自控控制可選。實(shí)現(xiàn)真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設(shè)備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si：H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導(dǎo)體及金屬膜等。

※技術(shù)指標(biāo)：

參數(shù) 名稱	單位	配置
沉積類型		碳化硅，氮化硅
電源		射頻電源，帶正向功率和反射功率計(jì)指示，帶匹配器
加熱系統(tǒng)		平板式雙反應(yīng)室系統(tǒng)，帶加溫和勻氣系統(tǒng)
工作溫度	℃	1300~1800℃
基片臺(tái)尺寸	(φ×H)mm	1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
基片臺(tái)轉(zhuǎn)速		轉(zhuǎn)速0-20RPM
控溫精度	℃	±1
極限真空	pa	6.67.0×10-5
密封系統(tǒng)		磁流體密封
水冷、氣路系統(tǒng)		冷卻水循環(huán)機(jī)、無(wú)噪聲氣泵
報(bào)警及保護(hù)		對(duì)缺水、過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警及相應(yīng)保護(hù)措施
真空系統(tǒng) （選配）	真空系列	單級(jí)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵
	工作腔體	不銹鋼
	氣氛系統(tǒng)	浮子流量計(jì)、進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量計(jì)
	記錄裝置	進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)無(wú)紙記錄儀
備注：西尼特可根據(jù)閣下要求提供各種非標(biāo)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)制造，歡迎來(lái)函、來(lái)電咨詢！ 24小時(shí)熱線：400-668-6260 18610138965 Fax:010-51418223 cntdl@sina.com http://www.cimitdl.com

在線詢盤/留言 請(qǐng)仔細(xì)填寫準(zhǔn)確及時(shí)的聯(lián)系到你!

您的姓名：	您的姓名沒有寫*	預(yù)計(jì)需求數(shù)量：	* 請(qǐng)輸入整數(shù) 請(qǐng)?zhí)顚憯?shù)量
聯(lián)系手機(jī)：	*	移動(dòng)電話或傳真：
電子郵件：	*郵箱格式不正確請(qǐng)?zhí)顚懩愕碾娮余]件	所在單位：
咨詢內(nèi)容：	我想了解：《CVD爐（SiC）氣相沉積爐-西尼特（北京）電爐有限公司》的詳細(xì)信息.請(qǐng)商家盡快與我聯(lián)系。 *

更多..本企業(yè)其它產(chǎn)品

CVD爐（碳化硅膜）氣相沉積爐

真空化學(xué)氣相沉積爐

PECVD 氣相沉積爐

離子氮化爐