凈化車間),亦稱為無塵室或清凈室凈室、潔凈房、超凈間、超凈室、無塵車間、凈化室、凈化車間、潔凈廠房。
「無塵車間」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室最主要之作用在于控制產品所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「無塵車間」。
無塵車間及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001
空氣潔凈度等級 (N) 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值 (pc/m3)
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4 10000 2370 1020 352 83
5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 352000 83200 2930
8 3520000 832000 29300
9 35200000 8320000 293000