1.本石英鐘罩清洗設(shè)備是手動的半導(dǎo)體工藝清洗濕臺，適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗,為鐘罩清洗部分和浸泡部分共同組成
2.整機主要由機架、操作臺面、排風(fēng)、清洗槽體、電器控制系統(tǒng)組成, SUS不銹鋼制作，外包PP板
3.清洗時，石英鐘罩豎放其中，可作360度旋轉(zhuǎn)，速度為5RPM；旋轉(zhuǎn)臺直徑為500mm。
4.并配有氮氣吹干槽.
5.還根據(jù)客戶要求設(shè)計制作此石英鐘罩清洗設(shè)備
