LAM/AMAT等離子刻蝕機(jī) ESC 靜電吸盤靜電卡盤 E-CHUCK

產(chǎn)品價格：	10000/人民幣
最后更新：	2021-03-22 10:41:16
產(chǎn)品產(chǎn)地：	廣東中山市
發(fā)貨地：	廣東中山市 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	1771

公司基本資料信息

深圳市天力士機(jī)械有限公司
李曼
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

ESC靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù)；靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù)；靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用 PI薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。

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