擴散爐專供廠家---青島晨立電子有限公司

產品價格：	100000/人民幣
最后更新：	2012-11-06 15:26:15
產品產地：	青島即墨市
發貨地：	山東青島即墨市 (發貨期：當天內發貨)
供應數量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數：	443

公司基本資料信息

青島晨立電子有限公司
姜新誠先生銷售
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手機13869885308
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地址山東省青島即墨市小李村工業園區

產品詳細說明

產品描述

設備用途：用于大規模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光    電器件、光導纖維等行業的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。
設備特點：單元組合方式。根據工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。
主要技術指標：
★ 爐管數：      1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)
760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點穩定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)
±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數：    ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
★ 氣體控制：    浮子/質量流量計
★ 懸臂舟參數：速度：    20～1000 mm/min
                        最大行程：2000 mm
                        定位精度：±1 mm
                        最大載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）
噪音：    ≤62dB（A）
振動：    ≤3μm

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