一、爐體材料: ★ 爐絲:Φ8~Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。 ★ 絕緣子:采用99瓷制作,碳化硅管用高腳,石英管用矮腳。 ★ 保溫棉: 采用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。 ★ 外殼: 304不銹鋼板卷制而成,連接處采用不銹鋼拉鉚釘連接。 ★ 熱偶座:進口彈簧卡狀固定座。 ★ 把口環:陶瓷纖維把口環,既保溫,又有一定機械強度。 二、爐體參數: ★ 工作溫度: ≤1300℃ ★ 恒溫區長度: 500mm-1000mm ★ 爐體內徑: Φ90~Φ360 mm(3~12英寸) ★ 規范使用: 壽命可達20個月以上(1200℃) ★ 替代進口: 全方位配套 三、應用: 青島晨立電子有限公司生產的擴散爐體主要用做半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、THERMCO,荷蘭ASM,英國BTU等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),采用國外先進的加工工藝,選用進口材料,可應用于處理3~12英寸硅片的擴散爐/太陽能電池片擴散爐。 | |