應用領域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC Power Device，LTCC
設備特點：
1、能夠生成均一性非常好的低壓力、高密度plasma
-搭載ISM（有磁場ICP）Plasma源。ULVAC專利。
2、為了保證再現(xiàn)性、穩(wěn)定性使用了key技術
-STAR電極。ULVAC專利。
3、優(yōu)秀的基板溫度控制
-并用了He導入的ESC式、machine zipper式基板固定。
4、簡單且快速的維護-減輕了維護負荷的維護機構。
5、生產性、處理性能向上-300mm托盤，7層Cassette裝備。
